LDS喷涂后涂层厚度怎么测才靠谱？

我们给主机厂做一个小塑料件，原来一直用的普通喷漆，现在主机厂要求上LDS喷涂，说是为了后续激光活化能镀金属。喷完涂层之后，主机厂那边TTF上面写了一堆尺寸要求，关键件那块要±0.02mm，涂层厚度是20-35μm，附着力百格要5B，耐磨要满足某个taber值。

我们试了一批回来，尺寸卡具做出来看着厚度还行，但一上三坐标测就有零星几个点超差（主要在工件边缘R角的位置），还有个别的做百格掉了一小块。我们厂里测厚度的设备就一台那个什么时代的涂层测厚仪（好像是磁感应那种？），三坐标测这种薄涂层误差也不小。想知道大家涂层厚度都怎么测才稳？三坐标直接采还是得用专门的轮廓仪？边缘R角位置超差有什么办法提前防一下？