三坐标测量机保养具体都做啥？新手求个明细

我们厂里那台三坐标用了六年多了，平时基本就是擦擦导轨、换个滤芯，探头啥的一直没动过。最近精度感觉有点飘，测同一个件每次数据都差个0.02左右，想彻底保养一次但不太清楚标准流程。

光栅尺、气浮、测针这些到底多久保养一次？有没有个清单类的说法，最好是按日周月年那种分好的。手头没有原厂的保养手册，各位厂里三坐标都是怎么做的？